소재 선정부터 발열 회로 설계, 제조, 출하검사까지 — 공정 조건에 최적화된 히터와, 같은 미세회로 인쇄 기술로 만드는 인쇄 전자(Printed Electronics) 제품까지 한 곳에서 완성합니다.
질화알루미늄(AlN)은 세라믹 중 최고 수준의 열전도율과 우수한 전기 절연성을 갖춘 소재입니다. BH세미콘은 자체 개발한 도금·인쇄 공법으로 AlN 위에 초미세 발열 회로를 형성하여, 웨이퍼 전면의 온도 균일성이 요구되는 반도체 공정 장비용 히터를 국산화했습니다. 존 수는 1 Zone부터 15 Zone 이상까지, 사용 온도는 110℃부터 400℃까지, 플레이트 두께는 2T부터 4T까지 공정 요구에 맞춰 자유롭게 설계·제작합니다.
| 항목 | 범위 |
|---|---|
| Zone 수 | 1 Zone ~ 15 Zone 이상 |
| 사용 온도 | 110℃ ~ 400℃ |
| 플레이트 두께 | 2T ~ 4T |
| 크기 · 형상 | Φ315 표준, 고객 사양 맞춤 |
| 공법 | 도금(Plating) / 인쇄(Printing) |
※ 위 범위 안에서 고객 공정 조건에 맞춰 Zone 수·온도·두께·형상을 설계·제작합니다. 상세 사양은 기술 문의를 통해 협의해 드립니다.
탄화규소(SiC)는 고온에서도 강도가 유지되고 내식성·내플라즈마성이 뛰어나 가혹한 공정 환경에 적합한 소재입니다. AlN Heater 양산으로 축적한 회로 형성·접합 기술을 SiC에 확장하여, 고온 공정용 히터 솔루션을 제공합니다.
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 형상 · 크기 | 고객 사양 기반 설계 (원형·각형) |
| Zone 구성 | 공정 요구 온도 분포에 맞춰 설계 |
| 상세 사양 | 기술 문의를 통해 협의 |
※ SiC Heater는 프로젝트별 맞춤 설계 제품입니다. 공정 조건을 알려주시면 최적 사양을 제안해 드립니다.
열화상으로 보면 차이가 드러납니다. CNT 발열층이 도포된 면 전체가 동시에 승온해, 금속선 히터처럼 선을 따라 줄무늬가 생기지 않고 하나의 밝은 면으로 발열합니다.
※ 열화상 표현 일러스트 — 실제 온도·색상은 제품 사양과 측정 조건에 따라 다릅니다.
CNT(탄소나노튜브) 페이스트를 필름 전면에 도포한 면상발열 히터입니다. SUS·Ni-Cr 금속선을 패턴으로 배치해 선 주변만 뜨거워지는 기존 선상발열과 달리, 도포된 면 전체가 고르게 발열하므로 핫스팟 없이 균일하고 승온 속도와 열효율이 뛰어납니다. 초박형 유연 구조로 의류용, 전자담배용, 차량용, ESS용에 공급되며, 두께는 용도별 사양에 따라 달라집니다.
※ 열화상 표현 모식도 — 면상발열은 도포면 전체가 고르게, 선상발열은 금속선 주변만 가열되어 온도 편차가 생깁니다. 승온 속도는 면상발열이 선상발열보다 2배 빠른 실측 비교를 반영했습니다.
| 구분 | CNT 면상발열 (BH) | SUS · Ni-Cr 선상발열 |
|---|---|---|
| 발열 방식 | 도포된 면 전체 | 금속선 패턴 주변 |
| 온도 분포 | 균일 (핫스팟 없음) | 선 부근 국부 과열 |
| 승온 속도 | 빠름 | 상대적으로 느림 |
| 열효율 | 높음 | 낮음 |
| 두께 · 유연성 | 초박형 · 유연 | 제한적 |
| 구분 | Layer |
|---|---|
| Coverlay | PI Film |
| Adhesive | |
| 발열층 | CNT Paste |
| FCCL (단면 3층) | Copper 전극 |
| Adhesive | |
| Base Film | |
| 접착 | PSA |
※ 대표 구성 예시이며, 층 두께·전체 두께는 용도(의류·전자담배·차량·ESS)와 사양에 따라 달라집니다.
현대자동차그룹이 개발한 복사열 난방 시스템의 CNT 필름형 발열체입니다. 선 발열이 아닌 면 발열 구조로 실내를 빠르고 균일하게 데우며, BH세미콘이 개발에 함께 참여했습니다.
이미지 출처: 현대자동차그룹 홈페이지 ↗
외피 원단 – CNT 면상발열층 – 동박 전극 필름 – 내피 원단의 4층 구조입니다. 발열층 면 전체가 고르게 따뜻해져 착용감이 균일하고, 얇고 유연해 옷의 움직임을 그대로 따라 휘어집니다.
혹한기의 ESS(에너지저장장치)는 저온으로 배터리 효율과 용량이 떨어지고, 내부 저항이 커져 수명이 줄며, 동결 시 시스템이 멈출 위험이 있습니다. 배터리 모듈 하우징 바닥에 장착하는 필름 히터가 셀을 적정 온도로 예열·보온하며, 얇은 필름 형태라 모듈 내부 공간을 거의 차지하지 않습니다.
Ag 패턴 인쇄형은(Ag) 발열 패턴을 인쇄한 필름 히터
CNT 면상발열형CNT 발열층 면 전체가 발열하는 필름 히터
세라믹 기판 위에 발열 회로를 형성한 범용 세라믹 히터입니다. 원형·각형 등 다양한 형상과 크기로 제작이 가능하며, 반도체·디스플레이 장비는 물론 산업용 가열 장치까지 폭넓게 적용됩니다.
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 형상 · 크기 | 고객 도면 기반 맞춤 제작 |
| 공법 | 도금(Plating) / 인쇄(Printing) |
| 상세 사양 | 기술 문의를 통해 협의 |
※ 도면 또는 요구 조건(온도·전력·치수)을 보내주시면 검토 후 회신드립니다.
PET 필름 위에 은(Ag) 페이스트를 인쇄해 전극 패턴을 형성합니다. 인쇄 방식으로도 폭 100µm의 미세 패턴까지 구현할 수 있으며, 히터 발열 회로 인쇄로 다져온 미세 패턴 기술로 라인 폭과 두께를 일정하게 관리합니다.
PET 필름 위에 은(Ag) 페이스트로 전극을 인쇄해 만드는 인쇄 전자(Printed Electronics) 제품입니다. 손가락이 닿을 때 생기는 정전용량 변화를 감지하는 터치 키패드를 비롯해, 얇고 유연한 필름 구조가 필요한 다양한 센서류를 제작합니다. 히터 회로 인쇄로 쌓아온 미세 패턴 기술로 100µm 미세 패턴까지 인쇄 방식으로 구현합니다.
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 기재 | PET 필름 |
| 전극 | Ag(은) 페이스트 인쇄 |
| 최소 라인 폭 | 100µm (인쇄 방식) |
| 감지 방식 | 정전용량 방식 (터치 · 제스처) |
| 형상 · 디자인 | 버튼 수 · 아이콘 · 외형 고객 맞춤 |
| 상세 사양 | 기술 문의를 통해 협의 |
※ 디자인 시안 또는 요구 조건(버튼 수·크기·커넥터 사양)을 보내주시면 검토 후 회신드립니다.
손가락이 표면에 닿으면 정전용량 변화 → 터치 감지 → 컨트롤러에서 신호 처리
공정 온도·크기·전력 조건만 알려주세요. 소재 선정부터 함께 검토해 드립니다.
